巴魯夫BALLUFF位移傳感器測量時，電子倉中的激勵模塊在敏感檢測元件（磁致伸縮波導(dǎo)絲）兩端施加一查詢脈沖，該脈沖以光速在波導(dǎo)絲周圍形成周向安培環(huán)形磁場，該環(huán)形磁場與游標(biāo)磁環(huán)的偏置永磁磁場發(fā)生耦合作用時，會在波導(dǎo)絲的表面形成魏德曼效應(yīng)扭轉(zhuǎn)應(yīng)力波，扭轉(zhuǎn)波以聲速由產(chǎn)生點向波導(dǎo)絲的兩端傳播，傳向末端的扭轉(zhuǎn)波被阻尼器件吸收，巴魯夫BALLUFF位移傳感器傳向激勵端的信號則被檢波裝置接收，電子倉中的控制模塊計算出查詢脈沖與接收信號間的時間差，利用磁致伸縮原理、通過兩個不同磁場相交產(chǎn)生一個應(yīng)變脈沖信號來準(zhǔn)確地測量位置的。測量元件是一根波導(dǎo)管，波導(dǎo)管內(nèi)的敏感元件由特殊的磁致伸縮材料制成的。測量過程是由傳感器的電子室內(nèi)產(chǎn)生電流脈沖，巴魯夫BALLUFF位移傳感器電流脈沖（也稱“詢問信號”）沿著傳感器內(nèi)以磁致伸縮材料制造的波導(dǎo)管以聲音的速度運(yùn)行，從而在波導(dǎo)管外產(chǎn)生一個圓周磁場，波導(dǎo)管發(fā)生磁致伸縮現(xiàn)象（鐵磁性物質(zhì)在外磁場作用下，其尺寸伸長或縮短，去掉外磁場后，其又恢復(fù)原來的長度），產(chǎn)生一個應(yīng)變脈沖。巴魯夫BALLUFF位移傳感器應(yīng)變脈沖（也稱“返回信號”）很快便被電子頭的感測電路探測到。

巴魯夫BALLUFF位移傳感器現(xiàn)在測量一維振動的傳?感器很多，采用的方式也很多，但是應(yīng)用在微振動和?低頻振動的卻比較少，而測量三維振動的傳感器就更不多了?，F(xiàn)有的測量三維瞬間振動和低頻振動的測振儀，主要應(yīng)用在爆破測試方面，而測三維加速度的傳?感器，測量和記錄三個方面的沖擊振動，主要運(yùn)用在公路運(yùn)輸和貨物運(yùn)輸?shù)确矫?。這些三維測振傳感器主要是壓電式，巴魯夫BALLUFF位移傳感器測高頻振動和瞬間沖擊的效果很好；因為半導(dǎo)體應(yīng)變片作為力敏器件的一種，其自身具有靈敏度高、動態(tài)響應(yīng)快、測量精度高、穩(wěn)?定性好、功耗低、壽命長、抗干擾性強(qiáng)、可靠性高等優(yōu)點，能有效地測量微振動和低幅振動，而且體積比?較小，小于0．3m3，基本上實現(xiàn)了微型化，巴魯夫BALLUFF位移傳感器可以應(yīng)用在一些需要測量三維振動的微工作臺和精密加工等方面。

巴魯夫BALLUFF位移傳感器在機(jī)械結(jié)構(gòu)的空間設(shè)計上，三維互相對稱的結(jié)構(gòu)保證了三維測量的情況盡量接近l2?J。在設(shè)計中，主要考慮了以下幾個方面：一是振子的平衡問題；二是振子的振動特性；三是如何能同時測量三個方向上的振動情況而各個方向卻互不影響；四是片簧以及彈簧對振子的影響。三組彈簧也就是每一維方向上兩個彈簧來支撐，前后左右的四個彈簧無論長度與粗細(xì)都是一樣的，上下兩個彈簧長度不同，但粗細(xì)也就是倔強(qiáng)系數(shù)是相同的。巴魯夫BALLUFF位移傳感器這三組彈簧對振子起到支撐作用的主要是上下兩個彈簧，前后左右四個是保持其振動的平衡性，還可以通?過調(diào)節(jié)螺栓1(每個方向上都有2個)來保證振子處于某個平衡的位置。